半導体前工程製造装置サービス
半導体前工程製造装置を中心としたエンジニアリングサービス事業です。
装置の立ち上げ、トラブル対応、保守、メンテナンス等を行っております。
主に、米国アプライド マテリアルズ社製装置のエンジニアリングサービスを提供しています。
担当装置
アプライドマテリアル社製
- P-5000 CVD、Etch
- Centura SACVD、DPS、RTP
- Endura PVD
- Producer CVD
- CMP Mirra、Mesa
- IMPLA PI9500、9500xR、Quantum

(※1)Photo credit: Seekingalpha.com (※2)Photo credit: Fabtech.org (※3)Photo credit: Semimd.com