業務内容
- 半導体前工程製造装置サービス
半導体前工程製造装置サービス
半導体前工程製造装置を中心としたエンジニアリングサービス事業です。
装置の立ち上げ、トラブル対応、保守、メンテナンス等を行っております。
主に、米国アプライド マテリアルズ社製装置のエンジニアリングサービスを提供しています。
担当装置
アプライドマテリアル社製
- P-5000 CVD、Etch
- Centura CVD、Etch、RTP、PVD、Epi
- Endura PVD
- Producer CVD
- CMP Mirra、Mesa、Reflexion
- WET CLEAN Oasis Clean
- PDC DR-SEM、CD-SEM、Wafer Inspection
- Implant 9000、9200、9500、9500xR、9500xRS、Quantum
